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好書推薦-矽元件與積體電路製程(修訂版)
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內容簡介
此書為探討「矽元件與積體電路製程」之教科書。
本書第1.2章探討矽半導體材料之特性。從矽導體之物理概念開始，一直到半導體結構、能帶做完整的解說。
第3.4章則說明積體電路的原理、結構及製程。
第5.6章則著重於矽晶圓的配製。
全書通用於大專院校電子、電機科系「積體電路製程」或「半導體物理與元件」課程做為教材。
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